Турбомолекулярный вакуумный насос, водяное охлаждение, 2000 л/с, двигатель 24000 об/мин (FF-250/2000)

Обеспечивает извлечение воздуха за счет относительно высокоскоростного вращения многоступенчатых динамических и статических турбинных лопаток. Cостоит из турбомолекулярного насоса и дискового тягового насоса.
Двигатель представляет собой трехфазный двигатель с короткозамкнутым ротором, а прецизионный керамический подшипник смазывается консистентной смазкой.
Особенности:
скорость откачки: 2000 л/с (N₂), 1600 л/с (He), 740 л/с (H₂), 1900 л/с (Ar),
коэффициент сжатия: 10⁸ (N₂), 10⁴ (He), 6×10³ (H₂), 10⁹ (Ar),
абсолютное давление: 6×10^-7 (CF), 6×10^-6 (ISO-K),
макс. непрерывное форвакуумное давление 200 Па,
макс. непрерывное форвакуумное давление 650 Па (N₂),
пропускная способность газа 3200 см³/мин (N₂), 2400 см³/мин (He), 1850 см³/мин (H₂), 1200 см³/мин (Ar),
скорость вращения 24000 об/мин,
время разгона ≤9 мин,
водяное охлаждение, расход охлаждающей воды ≥1 л/мин, температура охлаждающей воды ≤25°С,
напряжение 24 Впт/220 В,
макс. потребляемая мощность ≤750 Вт,
модели контроллера: TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II,
форвакуумный насос 15 л/с,
вес 32 кг (LF), 35 кг (CF),
входной фланец, DN250 CF или DN250 ISO-K, выходной фланец DN50 ISO-KF,
установка под любым углом.
Применение: PVD (физическое осаждение из паровой фазы), CVD (химическое осаждение из паровой фазы), плазменное травление, имплантация – источник, имплантация – канал, инспекция, склеивание, MBE (молекулярно-лучевая эпитаксия), загрузочные шлюзы, передаточные камеры, погрузочно-разгрузочные системы, плоский дисплей (FPD), светодиод / OLED, покрытие жесткого диска, фотовольтаика, стеклянное покрытие (PVD), производство CD/DVD/Blu-ray (PVD), оптическое покрытие (PVD), защита от износа (PVD, CVD), веб-покрытие, термическая обработка, вакуумная сушка, вакуумные печи, ядерные исследования, технология термоядерного синтеза, исследование плазмы, ускорители частиц, космическое моделирование, криогенные исследования, физика элементарных частиц, нанотехнологии, биотехнология.