Турбомолекулярный вакуумный насос, водяное охлаждение, 1200 л/с, двигатель 27000 об/мин (FF-200/1200C)

Обеспечивает извлечение воздуха за счет относительно высокоскоростного вращения многоступенчатых динамических и статических турбинных лопаток. Cостоит из турбомолекулярного насоса и дискового тягового насоса.
Двигатель представляет собой трехфазный двигатель с короткозамкнутым ротором, а прецизионный керамический подшипник смазывается масляной смазкой.
Особенности:
скорость откачки: 1200 л/с (N₂), 750 л/с (He), 480 л/с (H₂), 1160 л/с (Ar),
коэффициент сжатия: 10⁹ (N₂), 10⁴ (He), 6×10³ (H₂), 10⁹ (Ar),
абсолютное давление: 1×10^-7 (CF), 1×10^-6 (ISO-K),
макс. непрерывное форвакуумное давление 400 Па,
макс. непрерывное форвакуумное давление 500 Па (N₂),
пропускная способность газа 2300 см³/мин (N₂), 1700 см³/мин (He), 1350 см³/мин (H₂), 870 см³/мин (Ar),
скорость вращения 27000 об/мин,
время разгона ≤9 мин,
водяное охлаждение, расход охлаждающей воды ≥1 л/мин, температура охлаждающей воды ≤25°С,
напряжение 24 Впт/220 В,
макс. потребляемая мощность ≤750 Вт,
модели контроллера: TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II,
форвакуумный насос 15 л/с,
вес 39 кг (LF)/41 кг (CF),
входной фланец, DN200 CF или DN200 ISO-K, выходной фланец DN40 ISO-KF,
установка под любым углом.
Применение: светодиод/OLED, покрытие жесткого диска, фотовольтаика, производство CD/DVD/Blu-ray (PVD), оптическое покрытие (PVD), защита от износа (PVD, CVD), медицинская техника, электронно-лучевая сварка, изолирующие пылесосы, термическая обработка, вакуумная сушка, вакуумные печи, ядерные исследования, технология термоядерного синтеза, исследование плазмы, ускорители частиц, космическое моделирование, криогенные исследования, физика элементарных частиц, биотехнология.