Турбомолекулярный вакуумный насос, водяное охлаждение, 1300 л/с, двигатель 24000 об/мин (FF-200/1300N)

Обеспечивает извлечение воздуха за счет относительно высокоскоростного вращения многоступенчатых динамических и статических турбинных лопаток. Cостоит из турбомолекулярного насоса и дискового тягового насоса.
Двигатель представляет собой трехфазный двигатель с короткозамкнутым ротором, а прецизионный керамический подшипник смазывается консистентной смазкой.
Особенности:
скорость откачки: 1300 л/с (N₂), 1000 л/с (He), 480 л/с (H₂), 1250 л/с (Ar),
коэффициент сжатия: 10⁹ (N₂), 10⁴ (He), 6×10³ (H₂), 10⁹ (Ar),
абсолютное давление: 6×10^-7 (CF), 6×10^-6 (ISO-K),
макс. непрерывное форвакуумное давление 240 Па,
макс. непрерывное форвакуумное давление 600 Па (N₂),
пропускная способность газа 2500 см³/мин (N₂), 1850 см³/мин (He), 1450 см³/мин (H₂), 950 см³/мин (Ar),
скорость вращения 24000 об/мин,
время разгона ≤9 мин,
водяное охлаждение, расход охлаждающей воды ≥1 л/мин, температура охлаждающей воды ≤25°С,
напряжение 24 Впт/220 В,
макс. потребляемая мощность ≤500 Вт,
модели контроллера: TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II,
форвакуумный насос 15 л/с,
вес 29 кг (LF), 31 кг (CF),
входной фланец, DN200 CF или DN200 ISO-K, выходной фланец DN40 ISO-KF,
установка под любым углом.
Применение: PVD (физическое осаждение из паровой фазы), CVD (химическое осаждение из паровой фазы), плазменное травление, имплантация – источник, имплантация – канал, инспекция, склеивание, MBE (молекулярно-лучевая эпитаксия), загрузочные шлюзы, передаточные камеры, погрузочно-разгрузочные системы, плоский дисплей (FPD), светодиод / OLED, покрытие жесткого диска, фотовольтаика, стеклянное покрытие (PVD), производство CD/DVD/Blu-ray (PVD), оптическое покрытие (PVD), защита от износа (PVD, CVD), медицинские технологии, обнаружение промышленных утечек, электронно-лучевая сварка, изоляционные пылесосы, термическая обработка, вакуумная сушка, вакуумные печи, ядерные исследования, технология термоядерного синтеза, исследование плазмы, космическое моделирование, физика элементарных частиц, биотехнология.