Турбомолекулярный вакуумный насос, воздушное/водяное охлаждение, 700 л/с, двигатель 36000 об/мин (FF-160/700F)

Обеспечивает извлечение воздуха за счет относительно высокоскоростного вращения многоступенчатых динамических и статических турбинных лопаток. Cостоит из турбомолекулярного насоса и дискового тягового насоса.
Двигатель представляет собой трехфазный двигатель с короткозамкнутым ротором, а прецизионный керамический подшипник смазывается консистентной смазкой.
Особенности:
скорость откачки: 700 л/с (N₂), 580 л/с (He), 260 л/с (H₂), 680 л/с (Ar),
коэффициент сжатия: 10⁹ (N₂), 10⁷ (He), 6×10⁶ (H₂), 10⁹ (Ar),
абсолютное давление: 6×10^-8 (CF), 6×10^-7 (ISO-K),
макс. непрерывное форвакуумное давление 300 Па,
макс. непрерывное форвакуумное давление 550 Па (N₂),
пропускная способность газа 1400 см³/мин (N₂), 1000 см³/мин (He), 800 см³/мин (H₂), 550 см³/мин (Ar),
скорость вращения 36000 об/мин,
время разгона ≤7 мин,
воздушное или водяное охлаждение, расход охлаждающей воды ≥1 л/мин, температура охлаждающей воды ≤25°С,
напряжение 24 Впт/220 В,
макс. потребляемая мощность ≤500 Вт,
модели контроллера: TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II,
форвакуумный насос 4∼8 л/с,
вес 23 кг (LF), 24,5 кг (CF),
входной фланец, DN160 CF или DN160 ISO-K, выходной фланец DN40 ISO-KF,
установка под любым углом.
Применение: электронная микроскопия, масс-спектрометрия, анализ поверхности, мониторинг плазмы, анализ остаточного газа, PVD (физическое осаждение из паровой фазы), CVD (химическое осаждение из паровой фазы), имплантация – источник, имплантация – канал, инспекция, склеивание, MBE (молекулярно-лучевая эпитаксия), загрузочные шлюзы, передаточные камеры, погрузочно-разгрузочные системы, медицинские технологии, обнаружение промышленных утечек, электронно-лучевая сварка, изоляционные пылесосы, производство ламп и трубок, ядерные исследования, технология термоядерного синтеза, исследование плазмы, ускорители частиц, криогенные исследования, физика элементарных частиц, нанотехнологии, биотехнология.